洁净标准与洁净等级 (ISO 国际标准)
各粒径档最大容许粒子浓度 (颗/m3)
ISO等级,0,1um,0,2um,0,3um,0,5um,1um,5um
1,10,2
2,100,24,10,4
3,1,000,237,102,35,8
4,10,000,2,370,1,020,32,83
5,100,000,23,700,10,200,3,520,832,29
6,1,000,000,237,000,102,000,35,200,8320,293
注:可根据要求设计、施工,百级、千级、万级、十万级洁净室工程