洁净室国际标准规范　　ISO系列

（1）ISO14644-1 空气洁净度等级划分

（2）ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求

（3）ISO14644-3 测试方法

（4）ISO14644-4 设计建造启动

（5）ISO14644-5 运行(Operations)

（6）ISO14644-6 术语和定义

（7）ISO14644-7 分离装置(洁净空气罩、手套箱、分离器和微循环设备

（8）ISO14644-8 分子污染

（9）ISO14644-9 洁净化学品（液体）