洁净室国际标准规范 ISO系列
(1)ISO14644-1 空气洁净度等级划分
(2)ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求
(3)ISO14644-3 测试方法
(4)ISO14644-4 设计建造启动
(5)ISO14644-5 运行(Operations)
(6)ISO14644-6 术语和定义
(7)ISO14644-7 分离装置(洁净空气罩、手套箱、分离器和微循环设备
(8)ISO14644-8 分子污染
(9)ISO14644-9 洁净化学品(液体)